01內(nèi)同軸照明
工作原理
通過(guò)嚴(yán)格共軸設(shè)計(jì),使光源、被測(cè)物體和相機(jī)光路三者共軛的科勒照明結(jié)構(gòu),通常通過(guò)光纖導(dǎo)光或點(diǎn)光接入鏡頭內(nèi)部的鏡組,將光線垂直投射到物體表面,如下圖所示。
成像效果特點(diǎn)
對(duì)比度拉滿:
垂直入射的光線減少鏡面反射,特別適合高反光物體。
分辨率天花板:
光路短且無(wú)額外光學(xué)元件干擾,高倍鏡頭的解析力得以大化。
光強(qiáng)均勻分布:
嚴(yán)格的共軸設(shè)計(jì),配合擴(kuò)散片、光纖勻化、離焦調(diào)整等方法確保被測(cè)區(qū)域光強(qiáng)分布一致。
抗干擾:
封閉光路隔絕環(huán)境光,適合潔凈車間或強(qiáng)光干擾環(huán)境。
緊湊性:
模塊化設(shè)計(jì),適應(yīng)狹小空間。
局限性
靈活性差:
共軛封閉光路,難以搭配其他外部光源同時(shí)使用。
內(nèi)部反射:
低倍遠(yuǎn)心鏡頭內(nèi)置同軸照明會(huì)有熱點(diǎn)現(xiàn)象產(chǎn)生。
02外同軸照明
工作原理
外同軸光源與鏡頭相機(jī)分離,通過(guò)外部反射鏡(如棱鏡或半透半反鏡)將光線反射至物體表面,形成共軸光路。如如下圖所示。
成像效果特點(diǎn)
靈活適配復(fù)雜場(chǎng)景:
光源位置可調(diào),照明區(qū)域大,可搭配其他光源多角度照明。
成像均勻:
外同軸光源直接照射到被測(cè)物體表面,減少光線在鏡頭內(nèi)部的多次反射,在搭配低倍鏡頭時(shí)無(wú)熱點(diǎn)現(xiàn)象、成像均勻性更好。
局限性
像差風(fēng)險(xiǎn):
外部棱鏡可能引入像差,需選用高精度光學(xué)元件。
對(duì)比衰減:
多次反射導(dǎo)致光強(qiáng)下降,半透半反棱鏡導(dǎo)致對(duì)比度下降。
結(jié)構(gòu)臃腫:
光源體積較大,空間占用率高。
03實(shí)際成像對(duì)比
01分辨率測(cè)試板
內(nèi)同軸 外同軸
02晶圓
03手機(jī)后蓋
內(nèi)同軸 外同軸
04鋰電池極片
04選型關(guān)鍵因素
物體特性
高反光(晶圓、FPC等)→ 內(nèi)同軸
漫反射(塑料、印刷等)→ 外同軸
鏡頭倍率
高倍鏡頭(≥1X) → 內(nèi)同軸
低倍鏡頭(≤1X) → 外同軸
系統(tǒng)對(duì)比
空間狹小 → 內(nèi)同軸
空間足夠 → 外同軸
結(jié)論
內(nèi)同軸與外同軸光源并無(wú)絕對(duì)優(yōu)劣,關(guān)鍵在于“場(chǎng)景適配”。
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